Gambaran Keseluruhan Produk
Peralatan Filem Nipis Penyejatan Rasuk Elektron ini direka bentuk untuk-pemendapan wap fizikal (PVD) berketepatan tinggi. Menggunakan pancaran elektron tenaga-tinggi yang difokuskan untuk membedil bahan sumber, sistem mencapai kadar penyejatan yang tinggi untuk logam, oksida dan bahan dielektrik-tinggi-yang tinggi.
Dibina pada seni bina vakum modular, sistem ini memuatkan berbilang-senjata elektron poket, lekapan substrat yang boleh disesuaikan dan pemantauan-situ termaju. Ia menyediakan makmal R&D dan-proses pengeluaran tinggi yang memerlukan kawalan ketat ke atas stoikiometri filem, lekatan dan prestasi optik.
-
![Peralatan Penyejatan Rasuk Elektron Vakum Tinggi]()
Peralatan Penyejatan Rasuk Elektron Vakum TinggiEBE-Sistem Penyejatan Rasuk Elektron Vakum Tinggi Bersiri mendepositkan filem nipis-ketulenan tinggi untuk aplikasi optik, semikonduktor dan metalurgi. Dengan mengarahkan pancaran elektron yang...maklumat lanjut -
![Sistem Pemendapan Filem Nipis Rasuk Elektron]()
Sistem Pemendapan Filem Nipis Rasuk ElektronSistem Pemendapan Filem Nipis Rasuk Elektron menyampaikan pemprosesan PVD-ketulenan tinggi untuk penyelidikan lanjutan dan pengeluaran perindustrian. Menggunakan pancaran elektron yang difokuskan...maklumat lanjut -
![Peralatan Penyejatan Vakum Rasuk Elektron]()
Peralatan Penyejatan Vakum Rasuk ElektronSistem Penyejatan Vakum Rasuk Elektron ini melaksanakan pemendapan wap fizikal (PVD) bagi logam, oksida dan dielektrik -lebur-tinggi. Dengan menghalakan pancaran elektron terfokus ke dalam...maklumat lanjut -
![Peralatan Pemendapan Filem Nipis Rasuk Elektron]()
Peralatan Pemendapan Filem Nipis Rasuk ElektronSistem pemendapan rasuk elektron perindustrian ini menggunakan senapang elektron fokus magnetik (3 kW hingga 15 kW) untuk mengarahkan-fluks tenaga berketumpatan tinggi ke dalam air-perapian kuprum...maklumat lanjut -
![Sistem Filem Nipis Penyejatan Rasuk Elektron]()
Sistem Filem Nipis Penyejatan Rasuk ElektronEBE-Sistem Penyejatan Rasuk Elektron Bersiri direka bentuk untuk pemendapan wap fizikal (PVD) bagi logam-titik lebur-tinggi, dielektrik dan bahan optik. Dengan menggunakan pancaran elektron...maklumat lanjut -
![Peralatan Filem Nipis Penyejatan Rasuk Elektron]()
Peralatan Filem Nipis Penyejatan Rasuk ElektronEBE-Siri V600 ialah platform pemendapan wap fizikal (PVD) skala industri yang direka untuk salutan-filem nipis yang tepat bagi komponen optik, peranti semikonduktor dan bahan termaju. Dengan...maklumat lanjut
Spesifikasi Teknikal
|
Parameter |
Julat Spesifikasi |
Nota / Konfigurasi Standard |
|
Tekanan Asas Muktamad |
< 5.0 × 10^-6 Pa |
Dicapai melalui kumpulan pengepaman molekul-kriogenik atau turbo |
|
Dimensi Dewan |
Disesuaikan (500 mm hingga 1200 mm diameter dalaman) |
Keluli tahan karat 304L / 316L, elektro-digilap |
|
E-Penilaian Kuasa Senapang |
6 kW hingga 15 kW (Penjana sapu poket berbilang-) |
Pesongan rasuk boleh atur cara dan pengindeksan berbilang{0}}crucible |
|
Kadar Pemendapan |
0.1 nm/s hingga 10 nm/s |
Kawalan gelung-masa nyata-melalui monitor kristal kuarza |
|
Keseragaman Ketebalan Filem |
< ±1% to ±2% across standard substrates |
Lekapan substrat planet atau kubah dengan putaran kelajuan berubah-ubah |
|
Suhu Substrat |
Ambien hingga 800 darjah |
Pemanasan berseri bersepadu dengan maklum balas haba PID |
Ciri Peralatan Utama
-Senapang Elektron Kestabilan Tinggi:
Menampilkan pesongan magnetik dan pemfokusan berbilang-mata untuk mengelakkan kepanasan terlampau setempat bahan sumber dan menghapuskan ludah semasa penyejatan reaktif.
Reka bentuk Crucible Modular:
Dilengkapi dengan 4 hingga 6-poket perapian boleh diindeks, membenarkan pemendapan berbilang lapisan tanpa memecahkan vakum.
Interlock Vakum Lanjutan:
PLC-injap pneumatik terkawal, penjujukan vakum automatik/tinggi{1}}dan saling kunci melindungi daripada kegagalan air penyejuk dan anomali kuasa.
Bilik Pencemaran-Rendah:
Perisai dalaman menggunakan-keluli tahan karat yang digilap dengan pelapik boleh tanggal untuk pengurangan zarah yang cepat dan pemulihan penyelenggaraan.
Bahan Filem & Substrat
Bahan Penyejatan Serasi
Logam: Au, Ag, Al, Ti, Cr, Ni, Pt, Cu, Mo, W
Dielektrik & Oksida: SiO2, TiO2, Al2O3, Ta2O5, HfO2, ITO
Jenis Substrat
Wafer silikon (2 inci hingga 12 inci)
Kaca optik, silika bercantum, dan substrat kuarza
Filem polimer fleksibel (polyimide, PET melalui modul-ke-gulungan)
Substrat seramik (Al2O3, AlN)
Aplikasi
Salutan Optik:
Salutan anti-pantulan (AR), penapis jalur-sempit dan-cermin pantulan tinggi untuk sistem laser dan fotonik.
Peranti Semikonduktor:
Pembentukan sesentuh ohmik, pemekatan get dan pemrosesan angkat-untuk mikroelektronik.
Optoelektronik:
Lapisan oksida pengalir lutsinar (TCO) dan filem nipis untuk paparan OLED dan sel fotovoltaik.
R&D lanjutan:
Penerokaan lapisan magnet-filem nipis, filem superkonduktif dan heterostruktur berbilang-lapisan.
Penyesuaian & Konfigurasi Sistem
Setiap-sistem filem nipis dikonfigurasikan untuk memadankan resipi proses dan reka letak kemudahan tertentu. Penyesuaian kejuruteraan yang tersedia termasuk:
Pemilihan Tindanan Mengepam:
Konfigurasi resapan-turbo (TMP), pam krio atau minyak{1}}disesuaikan dengan keperluan vakum asas dan pemprosesan.
Muatkan-Integrasi Kunci:
Muatan manual-kunci atau sistem kluster berbilang-berautomasi untuk mengekalkan-integriti vakum ultra tinggi dan meningkatkan daya pemprosesan wafer.
Metrologi-In Situ:
Port penyepaduan untuk elipsometer spektroskopik, monitor optik atau penganalisis gas sisa (RGA).
Perisian Kawalan:
Antara muka PLC/HMI proprietari dengan penyimpanan resipi, pengelogan data dan protokol komunikasi SECS/GEM untuk penyepaduan kilang pintar.
Pembuatan & Kawalan Kualiti
Pembuatan Kapal:
Semua ruang vakum menjalani ujian kebocoran spektrometer jisim helium dengan ambang penolakan < 1 × 10^-9 Pa·m³/s.
Integriti Kimpalan:
Kimpalan TIG dilakukan di bawah perisai gas lengai, diikuti dengan pempasifan permukaan dalaman dan penggilap mekanikal untuk mengurangkan keluar gas.
Ujian Penerimaan Kilang (FAT):
72-jam kering berterusan-jalankan ujian mengukur lengkung pengepaman, ketepatan sapuan e-gun, masa tindak balas saling kunci dan kestabilan terma sebelum peti.
Pematuhan & Piawaian:
Dikilangkan di bawah sistem pengurusan kualiti yang diperakui ISO 9001, dengan sistem yang direka bentuk untuk memenuhi arahan CE dan garis panduan keselamatan dan ergonomik SEMI (S2/S8) yang berkaitan.
Soalan Lazim
Kami terkenal-sebagai salah satu pengeluar dan pembekal peralatan filem nipis penyejatan rasuk elektron terkemuka di China. Jika anda akan membeli peralatan filem nipis penyejatan rasuk elektron tersuai buatan China, dialu-alukan untuk mendapatkan senarai harga dari kilang kami. Untuk rundingan harga, hubungi kami.
