Penyejatan Arka China Peralatan Filem Nipis Pengeluar Pembekal Kilang

Gambaran Keseluruhan Produk

Sistem Sejatan Arka Katodik Perindustrian ialah platform-pengeluaran gred pemendapan wap fizikal (PVD) yang direka bentuk untuk mengendapkan-tahan haus,-tahan kakisan dan salutan keras geseran-rendah. Dengan menggunakan arka elektrik-voltan rendah,-tinggi, sasaran katod pepejal diwap dan terion serta-merta di tempat katod, menghasilkan plasma logam terion tinggi.

Direka dan dihasilkan di bawah piawaian pengurusan kualiti ISO 9001 dan arahan pematuhan CE, sistem ini dikonfigurasikan untuk-operasi salutan daya pemprosesan tinggi dalam pembuatan alat, komponen automotif dan sektor perkakasan industri. Konfigurasi standard menyepadukan reka letak berbilang-katod dengan stereng-magnet bebas, bekalan kuasa pincang DC/berdenyut boleh atur cara dan kawalan vakum automatik untuk mengekalkan stoikiometri filem yang konsisten dan struktur mikro padat.

Sistem Filem Nipis Penyejatan Arka
Sistem Filem Nipis Penyejatan Arka Katodik Industri direka bentuk untuk pemendapan-kadar tinggi salutan logam, aloi dan seramik yang padat, melekat kuat. Beroperasi melalui pelepasan...
maklumat lanjut
Peralatan PVD Penyejatan Arka
Sistem PVD penyejatan arka katodik industri menggunakan arka elektrik semasa-rendah, tinggi-untuk mengewapkan sasaran katod pepejal dalam persekitaran vakum. Mekanisme ini mencapai kadar pengionan...
maklumat lanjut
Sistem Filem Nipis Arka Vakum
Sistem Filem Nipis Arka Vakum Industri menggunakan penyejatan arka katodik untuk memendapkan filem nipis logam, aloi dan seramik yang padat dan sangat melekat. Arka-arus tinggi,...
maklumat lanjut
Peralatan Filem Nipis Arka Katodik
Sistem pemendapan wap fizikal (PVD) menggunakan arka elektrik semasa-rendah, tinggi{1}}setempat untuk mengewapkan sasaran katod pepejal ke dalam plasma terion sepenuhnya. Kadar pengionan yang...
maklumat lanjut
Peralatan Pemendapan Sejatan Arka
Platform pemendapan wap fizikal industri (PVD) direka bentuk untuk sintesis-kadar tinggi bagi salutan keras yang padat,{1}}tahan haus dan berfungsi. Mengekalkan nyahcas arka katodik-arus tinggi,...
maklumat lanjut
Peralatan Filem Nipis Penyejatan Arka
Sistem penyejatan arka katodik ini mengewapkan sasaran katod pepejal melalui arka elektrik-voltan rendah, tinggi-untuk menjana plasma logam terion sepenuhnya. Berbanding dengan penyejatan haba...
maklumat lanjut

Spesifikasi Teknikal

Parameter	Julat Spesifikasi / Konfigurasi Standard
Dimensi Dewan	Diameter: 800 mm - 1800 mm (Susun atur menegak/mendatar boleh disesuaikan)
Bahan Dewan	Keluli tahan karat SUS304 berdinding dua-dengan saluran penyejukan air-dalaman
Tekanan Vakum Muktamad	<= 5.0 x 10^-4 Pa (Achieved via roots blower and molecular/oil diffusion pump groups)
Konfigurasi Katod	4 hingga 12 sumber arka segi empat tepat/bulat dengan stereng elektromagnet
Bekalan Kuasa Arka	300A - 500Arus malar boleh laras, riak<= 2%
Kuasa Bias Substrat	0 hingga -1000V boleh laras, frekuensi pincang berdenyut 10 kHz - 100 kHz
Sistem Pemanasan	Tatasusunan pemanas berseri, suhu maksimum 600 darjah +/- 5 darjah keseragaman
Putaran Bahan Kerja	Putaran planet atau dwi-didorong oleh suapan cecair magnetik
Sistem Kawalan	PLC + PC Industri, kawalan jujukan automatik dipacu resipi-
Keperluan Utiliti	Air penyejuk: 0.25-0.35 MPa, 20-25 darjah ; Kuasa: 380V/480V, 3 fasa, 50/60 Hz

Proses Penyejatan Arka

Kitaran pemendapan beroperasi di bawah kawalan prosedur yang ketat untuk menjamin integriti filem dan lekatan antara muka:

Pemindahan & Pengeluaran gas:

Ruang vakum dipam ke bawah ke tekanan asas. Substrat dipanaskan di bawah vakum untuk menghapuskan permukaan meruap dan sisa kelembapan.

Goresan Plasma (Pembersihan):

Pengeboman ion logam (menggunakan sumber sasaran titanium atau kromium) membersihkan permukaan substrat pada tahap atom, mengeluarkan oksida asli dan mengaktifkan antara muka.

Pemendapan Reaktif:

Gas reaktif (N2, CH4, O2) disuntik ke dalam ruang melalui pengawal aliran jisim (MFCs) untuk bertindak balas dengan fluks plasma logam (cth, Ti, Cr, AlTi), membentuk filem kompaun seperti TiN, TiAlN, atau CrN.

Penyejukan & Pengudaraan:

Penyejukan-pasca pemendapan berlaku di bawah atmosfera gas lengai pelindung sebelum pengudaraan ruang dan pengambilan bahagian.

Bahan Filem & Substrat

Sasaran Katod yang Disokong
Titanium (Ti) & Titanium Aluminium (TiAl):Bahan asas untuk TiN standard dan salutan TiAlN rintangan-pengoksidaan-tinggi (menahan pengoksidaan sehingga 900 darjah ).

Chromium (Cr):Digunakan untuk kemasan hiasan dan lapisan CrN/CrC tahan karat-.

Zirkonium (Zr) & Titanium Silikon (TiSi):Digunakan untuk filem nanokomposit tahan dekoratif dan ekstrem{0}}yang khusus.

Bahan Substrat Serasi
-Keluli Kelajuan Tinggi (HSS):Gerudi pintal, pengisar hujung, dapur memasak dan bros.

Karbida Bersimen (WC-Co):Sisipan boleh diindeks, reamer dan acuan pembentuk.

Keluli & Aloi Kejuruteraan:Komponen injap automotif, gear, perkakasan kebersihan keluli tahan karat, dan implan perubatan titanium.

Aplikasi & Kesan Prestasi

Alat Memotong Logam:

Pemendapan salutan TiAlN dan AlCrN pada sisipan karbida dan kilang akhir, memanjangkan jangka hayat alat sebanyak 200% hingga 300% dan membolehkan pemesinan-tinggi kering.

Membentuk & Mengecap Dies:

Penggunaan salutan geseran padat,-rendah untuk mengurangkan kehausan pelekat, pedih dan bahan kerja melekat semasa lukisan dalam, mengurangkan masa henti sehingga 40%.

Powertrain Automotif:

Rawatan gelang omboh, pin suntikan bahan api, dan tappet untuk meminimumkan pekali geseran sempadan ke <0.15 dan mengelakkan kehausan lecet.

Perkakasan Industri & Keran Kebersihan:

Lapisan PVD hiasan keras (emas TiN, emas mawar, zirkonium hitam) melepasi ujian semburan garam neutral minimum 500 jam (ASTM B117).

Penyesuaian & Konfigurasi Proses

Skala susun atur peralatan mengikut volum pengeluaran, geometri bahagian dan jejak kilang:

Geometri Bilik:

Struktur pemuatan menegak untuk alat berat; konfigurasi kelompok mendatar untuk-pemuatan lekapan berkapasiti tinggi.

Integrasi Sumber:

Konfigurasi hibrid yang menggabungkan sumber arka katodik dengan katod magnetron sputtering (RMS) yang tidak seimbang untuk mendepositkan seni bina berbilang lapisan bebas titisan-yang licin.

Sistem Penapisan:

Penapis makrozarah magnet pilihan (penapis arka berpandu) dipasang pada saluran katod untuk menghapuskan -titisan makro untuk salutan berfungsi optik atau ultra-licin.

Antara Muka Automasi:

Penyepaduan-sedia untuk lengan pemuatan robotik dan pementasan kelompok kenderaan berpandu automatik (AGV).

Pembuatan & Kawalan Kualiti

Integriti Struktur:Badan kebuk menjalani ujian kebocoran spektrometer jisim Helium pada ambang sensitiviti<= 1 x 10^-9 Pa*m3/s prior to assembly.

Keselamatan & Pematuhan Elektrik:Dibina dengan ketat mengikut garis panduan keselamatan elektrik CE dan IEC, yang menampilkan ujian penebat penuh dan interlock keselamatan kecemasan.

Larian Fungsian-off (FAT):Each system undergoes a 72-hour continuous dry-run test and a full-process thermal deposition test in our factory. Coating thickness uniformity (+/- 5%) and adhesion (Scratch Tester critical load Lc >= 40 N / lekukan Rockwell HF1-HF2) disahkan pada kupon ujian standard sebelum penghantaran.

Pemasangan & Sokongan Teknikal

Pakej Penyediaan Tapak:

Lukisan susun atur utiliti yang komprehensif memperincikan kadar aliran air penyejuk, pengudaraan ekzos, kapasiti beban lantai dan spesifikasi penurunan elektrik yang disediakan 4 minggu selepas-kontrak.

Pada-Pentauliahan Tapak:

Jurutera proses{0}}kilang yang diperakui mengendalikan penjajaran mekanikal, pengesanan kebocoran vakum, penyepaduan elektrik dan persediaan resipi asas awal di kemudahan pelanggan.

Proses Pemindahan Resipi:

Penghantaran termasuk resipi asas standard (TiN, TiAlN, CrN) dan latihan operasi untuk pasukan penyelenggaraan dan kejuruteraan dalaman.

Sokongan Diagnostik Jauh:

Sistem yang dilengkapi dengan gerbang penghala industri yang selamat untuk penyelesaian masalah parameter jauh dan diagnostik logik PLC.

Soalan Lazim

S: Bagaimanakah sistem mengawal penjanaan makrozarah (titisan) yang wujud kepada penyejatan arka?

J: Peralatan ini menggunakan gegelung stereng medan magnet boleh laras untuk menggerakkan titik arka katod dengan pantas merentasi permukaan sasaran, mengurangkan masa tinggal dan lonjakan titisan. Untuk aplikasi yang memerlukan kemasan ultra-licin, modul arka ditapis pilihan secara magnetik memesongkan plasma logam daripada makrozarah sebelum sampai ke substrat.

S: Apakah kadar penggunaan sasaran biasa untuk konfigurasi katod standard?

A: Katod bulat dan segi empat tepat standard mencapai kadar penggunaan bahan sasaran 40% hingga 55%, bergantung pada profil medan magnet dan ketebalan sasaran. Penggantian sasaran dijamin secara mekanikal dengan-mekanisme pengapit pantas untuk meminimumkan masa henti penyelenggaraan.

S: Bolehkah peralatan ini diintegrasikan ke dalam barisan pengeluaran automatik sedia ada?

A: Ya. Seni bina kawalan PLC menyokong protokol komunikasi SECS/GEM dan jabat tangan I/O digital standard untuk penyepaduan dengan talian pra-pembersihan automatik dan sel pemuatan robotik.

S: Apakah masa utama standard untuk konfigurasi ruang tersuai?

J: Sistem kumpulan menegak standard memerlukan 16 hingga 22 minggu dari tarikh kelulusan ujian penerimaan kilang (FAT), bergantung pada spesifikasi kumpulan pengepaman tersuai dan susunan bekalan kuasa.

Kami terkenal-sebagai salah satu pengeluar dan pembekal peralatan filem nipis penyejatan arka terkemuka di China. Jika anda akan membeli peralatan filem nipis penyejatan arka tersuai buatan China, dialu-alukan untuk mendapatkan senarai harga dari kilang kami. Untuk rundingan harga, hubungi kami.