China Multi-Arc Ion Thin Film Equipment Manufacturers Kilang Pembekal

Gambaran Keseluruhan Produk

Peralatan penyaduran ion berbilang{0}}perindustrian direka bentuk untuk menggunakan salutan keras, filem berfungsi dan kemasan PVD hiasan pada komponen ketepatan. Menggunakan nyahcas arka vakum voltan tinggi-arus tinggi-rendah, sistem secara langsung mengewap bahan sasaran pepejal (Ti, Cr, Al, Zr). Apabila digabungkan dengan gas reaktif (N2, O2, C2H2), ia mensintesis nitrida logam peralihan padat, karbida dan oksida terus ke substrat logam.

Dibina pada seni bina ruang vakum modular, penyelesaian PVD siap pakai ini menampung skala pengeluaran yang berbeza-beza-daripada pemprosesan kelompok R&D kepada pembuatan sebaris tinggi-berautomasi. Sistem ini dioptimumkan untuk penggunaan sasaran yang tinggi dan Jumlah Kos Pemilikan (TCO) yang rendah dalam persekitaran industri 24/7 yang berterusan.

Berbilang-Peralatan Pemendapan Vakum Arka
Sistem pemendapan vakum berbilang-arka ini menggunakan teknologi penyaduran ion arka katodik untuk mengendapkan salutan keras-lekatan tinggi yang padat pada substrat logam dan bukan-logam. Dengan...
maklumat lanjut
Berbilang-Sistem Pemendapan Ion Arka
The Multi-Arc Ion Deposition System performs industrial-scale cathodic arc evaporation for hard, wear-resistant, and low-friction thin films. The process achieves >80% pengionan bahan katod...
maklumat lanjut
Berbilang-Peralatan Filem Nipis PVD Arka
Sistem PVD Multi{0}}Perindustrian menggunakan-pengionan tinggi pemendapan wap fizikal arka katodik untuk memendapkan salutan keras stoikiometrik yang padat (seperti TiN, TiAlN, CrN dan DLC) pada...
maklumat lanjut
Berbilang-Peralatan Pemendapan Ion Arka
Sistem Pemendapan Ion Berbilang{0}}Perindustrian menghasilkan filem nipis-lekatan yang padat dan tinggi melalui penyejatan arka katodik voltan tinggi-arus rendah-rendah. Bahan sasaran pepejal...
maklumat lanjut
Sistem Filem Nipis Multi-Ion Arka
Sistem Filem Nipis Multi-Industri Arka menggunakan penyejatan arka katodik untuk memendapkan salutan seramik dan logam yang padat,{1}}tinggi pada logam dan substrat aloi. Dengan mengewapkan bahan...
maklumat lanjut
Berbilang-Peralatan Filem Nipis Ion Arka
Sistem penyaduran ion berbilang-arka ini menggunakan penyejatan arka katodik untuk mengendapkan salutan keras-lekatan tinggi yang padat dan filem nipis berfungsi. Dengan memukul arka voltan-arus...
maklumat lanjut

Spesifikasi Teknikal

Parameter	Julat Spesifikasi	Unit / Nota
Dimensi Dewan	Ф600 x 600 hingga Ф1500 x 1800	mm (Konfigurasi menegak atau mendatar tersuai)
Tekanan Vakum Muktamad	<= 5.0 x 10^-4	Pa (Pam kering + Turbo-molekul / set resapan minyak)
Sumber Arka Katod	4 hingga 16 unit	Sumber arka yang dikemudi atau ditapis elektromagnet (FCA)
Kuasa Bias Substrat	0 hingga -1000	V (Keupayaan bias DC berdenyut Lanjutan / MF)
Suhu Pemanasan	Suhu Bilik hingga 600	C (Pemanas sinaran dikawal PID)
Keseragaman Pemendapan	<= +/- 5%	Diukur melalui XRF merentasi zon kerja berkesan
Sistem Kawalan	PLC + PC Perindustrian	Pelaksanaan resipi automatik, pengelogan data SCADA
Keselamatan & Pematuhan	CE, ISO 9001	Kepungan elektrik yang mematuhi UL-tersedia atas permintaan

Berbilang-Proses Pemendapan Ion Arka

Urutan pemendapan wap fizikal beroperasi pada aliran kerja automatik-gelung tertutup yang ketat untuk memastikan kebolehulangan kelompok-ke-kelompok:

Pemindahan & Pengeluaran gas:

Ruang vakum dipam ke bawah kepada tekanan garis dasar sebanyak<= 5.0 x 10^-3 Pa, while substrate temperatures are ramped to eliminate surface volatiles.

Goresan Plasma (Pengeboman):

Gas argon diperkenalkan. Pincang negatif yang tinggi dikenakan pada pemegang substrat, menghasilkan ion Ar yang membedil permukaan untuk memercikkan oksida asli dan bahan cemar-mikro.

Penyejatan Arka & Pengionan:

Arus arka DC mengenai katod logam pepejal. Titik katod tempatan mencapai ketumpatan tenaga yang melampau, dengan serta-merta mengewap bahan sasaran menjadi aliran plasma{1}} berketumpatan tinggi (kadar pengionan > 80%).

Pemendapan Reaktif:

Gas reaktif disuntik ke dalam fluks plasma pada tekanan separa terkawal dengan tepat melalui Pengawal Aliran Massa (MFC), membentuk filem kompaun stoikiometrik pada substrat berputar.

Penyejukan & Pengudaraan:

Penyejukan terkawal berlaku di bawah perlindungan gas lengai sebelum pengudaraan ruang, menghalang pengoksidaan bahagian yang baru bersalut.

Bahan Filem & Sifat Salutan

Sistem ini menyokong berbilang-susunan katod logam, mendayakan seni bina filem monolayer, multilayer, nano-komposit dan kecerunan:

TiN (Titanium Nitrida):

Salutan emas standard; kekerasan 2200–2400 HV; pekali geseran 0.4. Kegunaan utama: alat pemotong am dan bahagian haus mekanikal.

TiAlN (Titanium Aluminium Nitride):

Rintangan pengoksidaan suhu tinggi-sehingga 850 C; kekerasan 3000–3300 HV. Penggunaan utama: sisipan pemesinan kering berkelajuan tinggi-dan injap enjin.

CrN / CrAlN (Chromium Nitride):

Rintangan kakisan yang sangat baik dan tekanan dalaman yang rendah; anti-sifat rampasan terhadap logam bukan-ferus. Kegunaan utama: membentuk acuan, gelang omboh, dan komponen jentera tekstil.

ZrN / TiCN:

Kekasaran permukaan rendah (Ra<= 0.05 um); decorative stability and biocompatibility. Primary use: medical surgical instruments and premium sanitary hardware.

Aplikasi

Alat Pemotong Ketepatan:

Kilang akhir, gerudi, dapur memasak dan sisipan boleh diindeks yang memerlukan hayat alat yang dilanjutkan di bawah beban terma yang tinggi.

Powertrain Automotif:

Pin omboh, tappet, komponen suntikan bahan api, dan permukaan gear yang memerlukan pengurangan geseran sempadan dan rintangan lecet.

Acuan & Dies:

Acuan suntikan plastik, acuan pengecap dan sisipan tuangan-die memerlukan ketahanan terhadap haus pelekat dan kelesuan terma.

Komponen Aeroangkasa:

Bilah turbin dan pengikat titanium beroperasi di bawah persekitaran yang mengakis dan bertekanan tinggi-tinggi.

Penyesuaian & Konfigurasi Sistem

Item katalog standard jarang sesuai dengan reka letak kilang khusus dengan sempurna. Konfigurasi peralatan disesuaikan berdasarkan geometri komponen tertentu, sasaran masa kitaran dan kekangan kemudahan:

Geometri Bilik:

Ruang keluli tahan karat oktagon atau silinder (SUS304/SUS316L) menampilkan jaket penyejuk-air berdinding{3}}berganda.

Susun atur sumber:

Side-mounted or bottom-driven arc sources with magnetic steering coils to minimize macroparticle generation and ensure high cathode utilization (>60%).

Pemasangan substrat:

Putaran planet (3-paksi) atau mekanisme putaran tunggal didorong oleh suapan cecair magnetik untuk menjamin liputan salutan seragam pada geometri 3D yang kompleks.

Pilihan Tindanan Mengepam:

Peniup akar, pam ram berputar, pam kriogenik atau pam turbomolekul yang dikonfigurasikan untuk memenuhi masa kitaran bawah-pam yang ketat.

Kawalan Kualiti & Protokol Pengujian

Setiap mesin menjalani Ujian Penerimaan Kilang (FAT) yang ketat sebelum penghantaran, didokumenkan untuk semakan pembeli:

Ujian Integriti Vakum:

Pengesanan kebocoran helium menggunakan spektrometri jisim (kadar kebocoran<= 1 x 10^-10 Pa*m3/s).

Keselamatan Elektrik & Terbakar-dalam:

Larian bekalan kuasa kering berterusan selama 72 jam, interlock penyejukan air dan logik automasi PLC.

Pengesahan Salutan (In-Makmal):

Larian sampel diuji melalui ujian Calo-(ketebalan filem), lekukan Rockwell (kekuatan lekatan) dan lekukan nano (kekerasan).

Pemasangan, Pentauliahan & Sokongan Teknikal

Garis Panduan Penyediaan Tapak:

Lukisan susun atur utiliti terperinci disediakan untuk aliran/tekanan air penyejuk, udara termampat, pengudaraan ekzos dan keperluan bar bas elektrik.

SAT & Pentauliahan:

Pada-pemasangan tapak (Ujian Penerimaan Tapak), penentukuran vakum dan penyerahan resipi garis dasar yang dilaksanakan oleh jurutera proses PVD kanan.

Latihan Proses:

Latihan operator-praktis meliputi jadual penggantian katod, penyelenggaraan vakum pencegahan, penyelesaian masalah dan pengoptimuman resipi asas.

Sokongan Alat Ganti:

Komponen haus kritikal (katod, perisai, penebat dan pengedap) disimpan untuk penghantaran global dalam masa 48 jam.

Soalan Lazim

S: Bagaimanakah anda menyekat makrozarah (titisan) yang wujud dalam pelbagai-penyaduran ion arka?

J: Kami menggunakan medan stereng magnet boleh laras digabungkan dengan bentuk gelombang arus arka yang dioptimumkan untuk menstabilkan bintik katod dan mengurangkan pelepasan titisan. Untuk aplikasi optik atau perubatan ultra-licin, sistem boleh disepadukan dengan sumber Arka Katodik yang Ditapis (FCA).

S: Apakah masa pemulihan biasa untuk konfigurasi ruang tersuai?

J: Konfigurasi standard dihantar dalam masa 16 hingga 20 minggu. Dimensi ruang tersuai sepenuhnya, antara muka pemuatan robot automatik atau sistem pengepaman kriogenik khusus memerlukan 24 hingga 30 minggu dari kelulusan lukisan P&ID.

S: Bolehkah sistem menyimpan berbilang resipi salutan untuk keluarga bahagian yang berbeza?

A: Ya. Sistem kawalan PLC industri menyimpan sehingga 100 resipi proses individu. Ini membolehkan pelaksanaan automatik, satu-sentuhan ke atas pengawal aliran jisim gas (MFC), tanjakan voltan pincang, penjujukan arus arka dan masa langkah tertentu.

Kami terkenal-sebagai salah satu pengeluar dan pembekal peralatan filem nipis berbilang-arka ion terkemuka di China. Jika anda akan membeli peralatan filem nipis berbilang-arka ion tersuai buatan China, dialu-alukan untuk mendapatkan senarai harga daripada kilang kami. Untuk rundingan harga, hubungi kami.