Sistem IBAE menggabungkan elektron-rasuk atau penyejatan haba dengan sumber ion rasuk-luas bersepadu. Pengeboman ion serentak semasa pertumbuhan filem memindahkan tenaga kinetik kepada memekatkan adatom, menghapuskan struktur mikro kolumnar dan menghasilkan hampir-pukal-filem nipis berketumpatan dengan kelembapan minimum-anjakan spektrum yang disebabkan.
Spesifikasi Teknikal
|
Parameter |
Spesifikasi |
|
Tekanan Asas |
<= 5.0 x 10^(-5) Pa (achieved within 35 minutes) |
|
Tekanan Kerja |
1.0 x 10^(-1) hingga 1.0 x 10^(-2) Pa |
|
Jenis Sumber Ion |
Gridless End-Sumber Ion Dewan / Kaufmann |
|
Tenaga Pancaran Ion |
50 eV hingga 1500 eV (gelung-tertutup distabilkan) |
|
Ketumpatan Arus Rasuk Ion |
0 hingga 2.5 mA/cm^2 |
|
Sumber Penyejatan |
Berbilang-poket E-Beam Gun (4 x 15 cc hingga 6 x 40 cc) / Bot rintangan |
|
Pemegang Substrat |
Lekapan putaran planet dengan pemanasan sehingga 300 darjah C |
|
Keseragaman Ketebalan |
<= plus/minus 0.5 percent over 400 mm diameter |
|
Sistem Kawalan |
Siemens S7-1500 PLC + Industri PC (pengawal pemendapan Inficon) |
Ciri-ciri Utama
Pengeboman Mod Dwi{0}}:Pemindahan tenaga kinetik memekatkan filem pada suhu substrat rendah, melindungi optik halus dan substrat polimer.
Tertutup-Penstabilan Ion Gelung:Pengawal aliran jisim bersepadu mengekalkan fluks ion yang berterusan sepanjang pengeluaran yang lama, memastikan konsistensi kelompok.
Ruang Vakum Modular:Struktur keluli tahan karat 304L dengan bahagian dalam-elektro (Ra<= 0.2 um) and Conflat metal seals.
Penjujukan Automatik:PLC-pam terurus-kitaran turun, pemendapan dan bolong meminimumkan varians operasi.
Konfigurasi Sistem Vakum
Pam kasar:Akar kering bebas minyak-dan pam ram berputar.
Pam Vakum Tinggi:Pam turbomolekul terangkat magnet (1600 L/s).
Tolok:Kombinasi Pirani, katod sejuk, dan manometer kapasitans Baratron.
Injap:Injap pintu dan sudut pneumatik dengan interlock keselamatan perkakasan.
Bahan Penyejatan & Keserasian Substrat
Oksida:SiO2, Ta2O5, TiO2, Nb2O5, Al2O3
Fluorida:MgF2, LaF3
logam:Au, Ag, Al, Ti, Cr
Substrat:Silika lebur, BK7, wafer silikon, germanium, zink selenida (ZnSe) dan poliimida tahan haba-.
Aplikasi
Optik Ketepatan:Penapis pas jalur sempit dan salutan DWDM yang memerlukan panjang gelombang tengah yang stabil.
Optik Laser:Pemantul ambang-kerosakan tinggi-dan salutan anti-pantulan.
Semikonduktor & Fotonik:Lapisan pelindung dielektrik, pasif, dan pandu gelombang optik.
Tenaga Suria:Pengubahsuaian antara muka oksida pengalir lutsinar (TCO).
Penyesuaian
Saiz Ruang:Diameter boleh berskala dari 600 mm hingga 1200 mm.
Susun atur sumber:Sehingga tiga e-beam gun dan berbilang sumber haba setiap platform.
Metrologi-In Situ:Pemantauan optik jalur lebar (BOM) atau penyepaduan imbangan mikro kristal kuarza (QCM).
Automasi:Antara muka pemuatan substrat robotik mematuhi piawaian SEMI.
Kawalan Kualiti
Pengesanan Kebocoran:Ujian spektrometer jisim helium setiap ruang (sensitiviti<= 1 x 10^(-10) Pa*m^3/s).
Penyumberan Komponen:Jenama perindustrian Tahap-1 (Inficon, MKS, Edwards, Siemens).
Penerimaan Kilang (FAT):Larian kering berterusan 72 jam dan salutan pengesahan mengukur indeks biasan dan keseragaman sebelum penghantaran.
Pemasangan & Sokongan Teknikal
Dokumentasi:Pakej bahasa Inggeris lengkap termasuk skema elektrik, gambar rajah P&ID dan kod sumber PLC.
Perkhidmatan Lapangan:Pemasangan turnkey, penentukuran vakum dan penalaan resipi oleh jurutera aplikasi.
Diagnostik Jauh:Modul VPN selamat untuk penyelesaian masalah perisian dan proses.
Soalan Lazim
S: Bagaimanakah bantuan ion mengubah indeks biasan oksida?
A: Pengeboman ion bertenaga mengeluarkan gas sisa yang terperangkap dan mengetatkan struktur mikro, mengalihkan indeks biasan filem seperti Ta2O5 dan TiO2 lebih dekat kepada nilai pukal.
S: Apakah selang penyelenggaraan biasa untuk sumber ion?
J: Selang penyelenggaraan berkisar antara 150 hingga 300 jam pemprosesan, bergantung pada gas proses dan ketumpatan kuasa operasi.
S: Bolehkah sistem ini menguruskan proses gas reaktif?
A: Ya. Pengawal aliran jisim bebas menyuntik gas reaktif (O2, N2) terus ke dalam sumber ion dan zon kebuk, bersambung dengan suis tekanan keselamatan.
Cool tags: peralatan penyejatan bantuan rasuk ion, peralatan penyejatan bantuan rasuk ion China pengeluar, pembekal, kilang
