Penyelenggaraan harian mesin salutan PVD terutamanya merangkumi aspek berikut:
Bersihkan peralatan dengan kerap: termasuk pembersihan luaran dan pembersihan dalaman. Pembersihan luaran terutamanya melibatkan pembersihan permukaan luar peralatan dalam masa selepas penggunaan harian untuk menghilangkan habuk dan kotoran untuk mengelakkan pengumpulan-jangka panjang yang menjejaskan pelesapan haba dan penampilan peralatan. Pembersihan dalaman termasuk pembersihan tetap komponen utama seperti kebuk vakum dan sumber salutan, terutamanya dinding dalam kebuk vakum, yang perlu dibersihkan dengan kerap dengan detergen yang sesuai untuk menghilangkan sisa salutan dan kekotoran.
Periksa dan ganti bahagian: Sentiasa semak dan ganti penapis, minyak pam vakum, minyak pelincir dan bahagian lain. Sebagai contoh, kerap periksa paras minyak dan kualiti minyak pam vakum, dan gantikan minyak pam vakum tepat pada masanya untuk mengelakkan kekotoran berlebihan dalam pam menjejaskan kesan vakum. Pada masa yang sama, periksa saluran paip dan sambungan vakum untuk memastikan ia dimeterai dengan baik. Untuk penapis dan sistem pelinciran, ia juga harus diperiksa dan diganti secara berkala untuk memastikan operasi normal peralatan.
Beri perhatian kepada persekitaran pengendalian peralatan: Pastikan suhu, kelembapan dan keadaan lain persekitaran pengendalian peralatan sesuai untuk mengelakkan kegagalan peralatan disebabkan oleh faktor persekitaran. Lokasi pemasangan peralatan hendaklah stabil dan pepejal, dan ruang yang mencukupi harus dikhaskan di sekelilingnya untuk operasi dan penyelenggaraan. Persekitaran di mana peralatan berada hendaklah sentiasa bersih dan kering. Habuk dan kekotoran mungkin bercampur ke dalam proses salutan dan menjejaskan kualiti lapisan filem.
Pemeriksaan dan penyelenggaraan profesional: Selain penyelenggaraan harian, profesional perlu diminta untuk menjalankan pemeriksaan menyeluruh terhadap peralatan secara berkala, termasuk ujian vakum, ujian sistem elektrik, pemeriksaan haus bahagian mekanikal, dsb. Melalui pemeriksaan profesional, masalah yang berpotensi boleh ditemui dan diselesaikan tepat pada masanya untuk memastikan{1}}pengoperasian peralatan yang stabil dalam jangka panjang.
Pengendalian dan rekod yang selamat: Operator harus mematuhi prosedur pengendalian peralatan dan prosedur pengendalian keselamatan untuk memastikan keselamatan diri dan keselamatan peralatan. Pada masa yang sama, wujudkan sistem rekod penyelenggaraan peralatan untuk merekodkan secara terperinci masa, kandungan, masalah yang ditemui dan penyelesaian setiap penyelenggaraan, yang akan membantu mengesan penyelenggaraan peralatan dan menyediakan rujukan untuk penyelenggaraan seterusnya.
